Система контроля расхода газов для применения в технологии реактивного магнетронного распыления ИМ Климович, ВН Кулешов, ВА Зайков, АП Бурмаков, ФФ Комаров, ... Приборы и методы измерений 6 (2), 139-147, 2015 | 16 | 2015 |
Спектроскопическая система контроля расхода газов и содержания примесей в процессе магнетронного осаждения пленок АП Бурмаков, ВН Кулешов Журнал прикладной спектроскопии 74 (3), 412-416, 2007 | 14 | 2007 |
Неустойчивость процесса реактивного магнетронного распыления АП Бурмаков, ВА Зайков, АА Лабуда, ВЕ Черный Журнал прикладной спектроскопии 63 (6), 1049-1053, 1996 | 11 | 1996 |
Спектральный контроль и управление процессами магнетронного реактивного распыления АП Бурмаков, АА Балясников, ВА Зайков, АА Лабуда, ВЕ Черный Вакуумная техника и технология 4 (2), 14-16, 1994 | 10 | 1994 |
Экспериментальное исследование процессов взаимодействия плазмы электрического взрыва проводника с плоской преградой АП Бурмаков, ВБ Михайлов, АВ Колесник Инженерно-физический журнал 46 (5), 813-819, 1984 | 10 | 1984 |
Монохроматизация излучения для спектрального контроля плазменных технологических процессов АП Бурмаков, АА Лабуда, НН Никифоренко Журнал прикладной спектроскопии 65 (4), 587-589, 1998 | 7 | 1998 |
Взаимодействие плазмы электрического взрыва проводника с поверхностью твердого тела АП Бурмаков, ВБ Михайлов, АВ Колесник Теплофизика высоких температур 20 (5), 906-911, 1982 | 7 | 1982 |
Алгоритмы оптического управления реактивным магнетронным осаждением пленочных покрытий АП Бурмаков, ВН Кулешов Журнал прикладной спектроскопии 79 (3), 430-435, 2012 | 5 | 2012 |
Контроллер расходов газов для процессов нанесения пленок сложного состава/БурмаковА. П., Кулешов ВН АП Бурмаков Электроника, 59, 2006 | 5 | 2006 |
Управление расходом газов в технологических процессах ионно-плазменного и ионно-лучевого осаждения многослойных покрытий с задан-ными свойствами АП Бурмаков, ИИ Игнатенко, КВ Коротков, ВЕ Черный Физика и химия обработки материалов, 71, 2000 | 5 | 2000 |
Спектральный прибор управления плазменными технологическими процессами нанесения покрытий АП Бурмаков, АА Лабуда, НН Никифоренко, ВЕ Черный Вакуумная техника и технология 3 (2), 5-7, 1993 | 5 | 1993 |
Обтекание плоской преграды импульсным сверхзвуковым потоком металлической плазмы АП Бурмаков, МВ Сузденков, ЮА Станкевич Физика плазмы 8 (5), 1049-1052, 1982 | 5 | 1982 |
Система управления газовым напуском для магнетронных технологий нанесения пленочных покрытий АП Бурмаков, ВН Кулешов, АВ Столяров Минск: БГУ, 2016 | 4 | 2016 |
Комбинированное магнетронно-лазерное осаждение диэлектрических покрытий, содержащих металлические наночастицы АП Бурмаков, ВН Кулешов, ОР Людчик Минск: БГУ, 2016 | 4 | 2016 |
Особенности формирования комбинированной магнетронно-лазерной плазмы в процессах нанесения пленочных покрытий АП Бурмаков, ВН Кулешов, КЮ Прокопчик Инженерно-физический журнал 89 (5), 1281-1287, 2016 | 4 | 2016 |
Оптико-спектральные способы и контроллеры управления расходом газов при реактивном магнетронном нанесении покрытий АП Бурмаков, ВА Зайков, АА Лабуда, НН Никифоренко, ВЕ Черный Вакуумная техника и технология 8 (1), 21-24, 1998 | 4 | 1998 |
Интерференционно-голографическое исследование сверхзвуковой плазменной струи импульсного разряда АП Бурмаков, ГМ Новик Журнал технической физики 51 (1), 68-72, 1981 | 4 | 1981 |
Интерференционно-голографическое исследование плазменной струи с помощью основной частоты и второй гармоники рубинового лазера АП Бурмаков, ГВ Островская Журнал технической физики 40 (3), 660-661, 1970 | 4 | 1970 |
Свойства нанокристаллических покрытий на основе легированного примесями нитрида титана ФФ Комаров, ВВ Пилько, СВ Константинов, АП Бурмаков, ВА Зайков | 3 | 2013 |
Оптическое управление реактивным магнетронным осаждением пленочных покрытий АП Бурмаков, ВН Кулешов | 3 | 2011 |